超聲波清洗技術是多學科交叉的產物，隨著各種新原理、新材料、新技術的出現，逐步完善。例如，壓電陶瓷等新材料的科學技術的發展促進了電聲傳輸的大規模生產和應用；半導體材料和電力電子技術的發展突破了功率超聲發生器的瓶頸，使清潔行業急需的大功率驅動控制器實用。

超聲波清洗技術的發展可分為超聲波清洗的基本理論階段和具有實用價值的應用階段兩個階段。

(1)超聲波清洗的基本理論階段。

自1880年居里兄弟發現壓電效應以來，壓電已成為現代科學技術的重要領域。它研究了機電相互作用和能量的耦合和轉換，并對晶體結構的對稱性與壓電和鐵電之間的關系有了深刻的了解。然而，壓電轉換器最早用作石英晶體諧振器，僅用作濾波器，壓電效應僅限于水聲和電聲器件。

在第一次世界大戰期間，法國著名物理學家保羅·朗之萬（Langevin）發明了鋼-石英-鋼結構的夾心壓電換能器，并成功地在水中進行了低頻超聲波發射和接收實驗，標志著人類正式研究超聲波技術的應用。

直到20世紀40年代初，美國和蘇聯的科學家幾乎同時發現了Batio，陶瓷的鐵電性，而Batio。鐵電性的發現在理論上和應用上對壓電陶瓷的發展都具有重要意義。

20世紀50年代初，Miller大大改進了換能器，開發了預應力復合換能器，為功率超聲技術的工業應用奠定了基礎。

早期的超聲波理論認為，超聲波清潔的本質是超聲波產生的氣泡的清潔作用。日本清潔工程研究會創始人柴野佳英通過反復試驗證實，真空氣穴真正起到清潔作用，而不是超聲中通過簡單氣體爆發單氣體爆發產生的氣泡；同時，也驗證了超聲波產生的氣泡抑制甚至消除了超聲波清洗的效果。1987年，柴野佳英在這一重大發現后公開發表了超聲波清洗的基本理論。根據這一理論，柴野佳英開發的超聲波清洗設備技術領先，能有效控制氣穴現象的位置、密度、效率和沖擊力。

(2)具有實用價值的應用階段。

超聲波清洗設備的使用始于20世紀50年代初，主要用于電子、光學和醫學領域。超聲波清洗技術非常實用，涉及范圍廣，從機械部件到半導體設備。隨著時間的推移，它通常被稱為無刷清洗。