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介紹各種硅片清洗方法和新的發(fā)展方向

目前,我國光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,我國太陽能電池年產(chǎn)量居世界第一。太陽能硅片的清洗水平對太陽能電池的可持續(xù)發(fā)展影響很大,因此人們對太陽能硅片的清洗方法提出了更嚴格的要求。太陽能硅片在切片、倒角、研磨、拋光等加工過程中,表面會受到不同程度的污染,如顆粒、金屬離子和有機物。如果這些污染沒有得到很好的解決,設(shè)備的特性就會受到很大程度的影響。目前,制造總損失的一半是硅片清洗不當造成的設(shè)備故障。因此,人們對太陽能硅片清洗技術(shù)的研究不斷深入。本文將簡要介紹硅片表面污染的類型,并在此基礎(chǔ)上探討幾種常用的太陽能硅片清洗方法和新的發(fā)展方向。

1、硅片加工表面污染類型

硅片污染的可能性相對較大,畢竟,在硅片加工過程中,不可能達到零污染的程度。污染可能來自大氣、水、使用的化學物質(zhì)、人及其加工過程。污染物可分為以下類型:顆粒、有機物和金屬。
1)顆粒:顆粒的類型主要是一些聚合物、光學抗腐蝕劑等。
2)有機物:它可以有多種存在方式,如潤滑脂、松脂、蠟等。如果這些物質(zhì)沒有得到有效的清洗,后處理過程將受到很大的影響。
3)金屬:主要以共價鍵、范德華引力和電子轉(zhuǎn)移三種方式存在。金屬的存在會破壞氧化層,導致霧缺陷或微結(jié)構(gòu)缺陷。

2、清洗太陽能硅片的幾種常用方法

2.1、RCA清洗法

RCA清洗方法是一種典型的濕試化學清洗方法。雖然發(fā)明較早,當時的技術(shù)還沒有現(xiàn)在發(fā)達,但在各種清洗方法中仍然占有重要地位。RCA清潔在去除有機表面膜、顆粒和金屬等污染物方面非常有效,這就是為什么它可以得到廣泛的應(yīng)用。但清洗方法也存在許多缺陷:如清洗過程中使用大量不同的化學物質(zhì),嚴重污染環(huán)境;由于清洗過程主要在高溫環(huán)境下,需要大量的液體化學物質(zhì)和水;同時,為了抑制化學物質(zhì)的揮發(fā),需要大量的空氣;使用化學物質(zhì)會增加硅片的粗糙度。因此,化學物質(zhì)的消耗、消耗和環(huán)境污染受到了限制RCA繼續(xù)使用清洗方法,需要改進或選擇其他清洗方法。

2.2、超聲波清洗法

超聲波空化效應(yīng)、輻射壓和聲流是超聲波清洗的主要原理。在清洗過程中,先將硅片放入槽內(nèi)的液體中,然后利用槽底的超聲波振子工作,將能量傳遞給液體,通過聲波前的液體。當振動較強時,液體會被撕掉,從而產(chǎn)生許多氣泡,稱為空穴泡。這些氣泡是超聲波清洗的關(guān)鍵,它們儲存著清洗的能量。一旦這些氣泡遇到硅片表面,它們就會爆炸,釋放大能量可以清洗硅片表面。在清洗液中加入適當?shù)谋砻婊钚詣稍黾映暡ㄇ逑葱Ч3暡ㄇ逑从泻芏鄡?yōu)點:清洗速度快;清洗效果好;可清洗各種復雜形狀的硅片表面;易于遙控和自動化。其缺陷包括以下幾個方面:在清洗過程中使用揮發(fā)性有機溶劑,需要改進回收設(shè)備,提高清洗成本;超聲波對不同顆粒尺寸的污染物有不同的清洗效果,顆粒尺寸越多,清洗效果越好,但顆粒尺寸越小,清洗效果越差;清洗過程中使用的表面活性劑屬于有機物,當無機物被去除時,化學物質(zhì)本身的顆粒被留下,造成污染;當穴位氣泡爆破時,巨大的能量會導致硅片不可避免的損壞。

2.3、氣相干洗法

氣相干洗時,先讓電影低速旋轉(zhuǎn),再提高速度使電影干躁,此時,HF蒸汽可以很好地去除氧化膜污染和金屬污染物。這種方法可以有效地清潔結(jié)構(gòu)較深的部分,如管溝。硅片表面的顆粒清潔效果更好,不會造成二次污染。盡管如此HF蒸汽能去除天然氧化物,但不能有效去除金屬賣污。

2.4、偏堿清洗劑和雙氧水

在這種方法中,第一步是用酒精清洗太陽能硅片;第二步是用偏堿清洗劑溶液和水依次清洗硅片;第三步是用過氧化氫和水依次清洗硅片,最終獲得更干凈的太陽能硅片。在這種方法中,偏堿清洗劑溶液的作用是反應(yīng)和溶解硅片表面的金屬粉,然后用水清洗去除金屬粉。過氧化氫溶液的作用是氧化和溶解太陽能硅片表面的有機溶劑,然后用水清洗可以去除有機溶劑,從而獲得更干凈的太陽能硅片。該方法能有效減少太陽能硅片表面殘留的金屬粉和有機溶劑,清洗硅片。

3、太陽能硅片清洗全新發(fā)展

隨著科學技術(shù)的進步,太陽能硅片清洗的最新發(fā)展方向是激光清洗方法,贏得了業(yè)界的青睞。其原理主要是即時熱膨脹原理。清洗技術(shù)的優(yōu)點主要表現(xiàn)在以下幾個方面:
(1)激光清洗不是直接近距離進行的,也可以有效清洗以前難以清洗的地方;
(2)無化學溶液,對環(huán)境的污染很小;
(3)激光清洗不僅可以選擇清洗材料表面的不同污染物,而且在清洗過程中不會損壞材料;
(4)激光清洗范圍廣,對不同類型的污染物有用,清洗水平也很高;
(5)激光清洗不僅能清洗大顆粒污染物,還能有效清洗微米級污染顆粒;
(6)激光清洗所用設(shè)備運行效率高,運行成本相對較低,可實現(xiàn)自動操作。

如今,太陽能硅片的清洗方法有很多種,但每種方法都有自己的優(yōu)缺點,企業(yè)可以根據(jù)實際需要進行選擇。太陽能硅片清洗的發(fā)展應(yīng)朝著節(jié)約資源、高清洗效率和綠色環(huán)保的方向發(fā)展,如流行的激光清洗方法。這對環(huán)境保護和社會經(jīng)濟的可持續(xù)發(fā)展,具有極其重要的作用和意義。

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